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洁净室的建造特点

[2011-10-13]
一、建造投资费用高

高级别洁净室的建造费用很高,一般来说,100级垂直单向流的洁净室,其室内装修(墙、顶、地、门、窗等)和龙8老虎机app净化系统(包括制冷龙8老虎机app设备和管道配件、净化设备和配件等)的初投资大约为10000元人民币/m2;如果加上纯水制备设备和系统管道,纯气发生和系统管道,废水治理设备和管道,消防系统,供配电和自控系统,真空清扫系统等等,其单位面积的建造投资费用要高达25000~30000元人民币/ m2

就拿已投产的上海华虹NEC超大规模集成电路芯片生产线洁净室举例来说,华虹NEC为月投片30000片8"硅片集成电路前工序生产线,有洁净室面积约12000m2,其中10000 m2是在中心部位,另2000 m2在边跨上。在中心部位的10000 m2洁净室中有4000 m2的1级、10级和100级的垂直单向流洁净室,另外6000 m2分别为1000级和10000级的非单向流洁净室,总送风量约6,400,000 m3/h。于1998年底建成投产。

该项目总投资约100亿人民币,其中动力设备和土建投资为20亿人民币,占总投资的五分之一。单核心部分的10000 m2的洁净室的建造费用就高达6000万美元(约5亿人民币)(日本三机株式会社施工),折合每平方米建造费用约50000元人民币/ m2

二、运行管理费用大

因为高级别洁净室净化风量大,新风量也大,温湿度要求严格,所以空气热湿处理和空气输配的能量消耗大,耗电多,运行费用贵。

还拿上述华虹NEC为例,其核心部分10000 m2洁净室总的送风量为6,400,000 m3/h,输送净化空气的风机耗电量为3840 Kw/h,全年电费为1659万元(每度电按0.6元/设计),空气热湿处理的耗电量约10000 Kw/h,全年电费为6000万人民币。全年龙8老虎机app净化系统本身的运行费用就高达7659万元人民币。折合每年单位面积的运行费用为7659元/m2年。

三、灵活适应性强

因为,科学技术的发展很快,高科技的产品不断出现,尤其是电子工业的发展更是日新月异,像集成电路的发展2~3年就更新一代,TFT-LCD的发展速度更快1~2年就上一个台阶。这就要求中央龙8老虎机app龙8国际中的高级别的洁净室必须能适应其发展速度,有极好的灵活性和适应性。因为建造一个洁净厂房是百年大计,不是一、二年就会拆掉重建。因此,在设计和建造洁净厂房时,就要考虑到工艺的发展、变更,就要考虑到洁净厂房的灵活性和适应性。从一个洁净厂房的灵活适应角度,可将其分为三个层次;

第一是不可变的部分。无论怎样改都不能改变的部分。如基础、梁、柱等结构部分;
第二是可变但不容易变的部分。如洁净室的围护、装修等;
第三是可变而且容易改变的部分。如动力、空气、水、气体溶剂的供给部分和废气、废水、废料等排放部分。

四、安全、可靠性好

从前面(一)、(二)两条特点可以得出建造和使用这样的洁净室要付出何等的代价。但是为了生产出高可靠、高质量的高科技产品也必须具备这样的生产环境。因为,建造洁净室的目的是为使用,是为了得到高成品率合格产品。为了达此目的,设计和建造洁净室必须把安全可靠放在第一位。保证所建造的洁净室在洁净度、温湿度、风速、压力等所有参数必须满足生产工艺的要求,保证安全、可靠、不出事故。这一点绝不能马虎,更不能打折扣,要万无一失,只有这样才能有效益,才能达到建造洁净室的目的。

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